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一方、上記の位置Ｆ３では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部１０１による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット１０が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部１１ｃの先端が把持対象物Ｐに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット１１は、保持ばね１５の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体１３の駆動部１３ｃから被動部１１ｔが駆動力を受けてしまい、把持対象物Ｐを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Ｐに接触したフィンガー部１１ｃに対応する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５のいずれかの検出信号Ｓｄが変化したり、或いは、上記コレット１１の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｃが変化することにより、制御部１０１が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄが変化したフィンガー部１１ｃがどれか、複数のフィンガー部１１ｃの幾つにおいて検出信号Ｓｄが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｄによってコレット１１の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。

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次に、上記とは別の機能実現手段１００Ｃについて説明する。この機能実現手段１００Ｃは、コレット位置検出器Ｓ２、又は、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の少なくともいずれか一つの検出結果に基づいて、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢（或いは、位置と姿勢の少なくとも一方）を修正する手段である。図１０において実線で示すフィンガー部１１ｃの位置Ｆ１が把持対象物Ｐに対する適正な位置であり、このときのハンドリングユニット１０は適正な位置及び姿勢にある。一方、上記ユニット駆動系の作動ずれなどにより、フィンガー部１１ｃの軸芯（軸線１０ｘ）が把持対象物Ｐに対して上記の正規の位置Ｆ１からずれ、異なる位置Ｆ２やＦ３に配置される場合がある。例えば、位置Ｆ２では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からやや図示右側へずれている。このような微妙な位置ずれを検出することは難しいが、例えば、上記の把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５を用いることにより、複数のフィンガー部１１ｃが非把持状態から把持状態へ移行する際に、各フィンガー部１１ｃに対応する弾性変形部１１ｂの変形量が検出信号Ｓｄによって時間的にずれて検出されるため、この時間ずれに対応する位置ずれ量と、各フィンガー部１１ｃの時間の先後に対応するずれ方向とを推定して、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。なお、複数のフィンガー部１１ｃが把持状態となり、把持対象物Ｐの把持が完了した時点では、コレット１１の自動調芯機能により、把持対象物Ｐの中心はコレット１１の軸芯、すなわち軸線１０ｘに整合した状態とされる。

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ハンドリングユニット１０には、制御部１０１に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第４実施形態の位置検出器４９と同様に、作動体１３の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｓを出力する作動体位置検出器Ｓ１と、コレット１１の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｃを出力するコレット位置検出器Ｓ２と、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Ｓｄを出力する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５と、複数のフィンガー部１１ｃの少なくとも一つに設置され、検出信号Ｓｔを出力する熱電対などの把持対象物Ｐの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Ｐの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器Ｓ６とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５は、各弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃに対応するそれぞれの検出信号Ｓｄを出力するものであってもよく、また、検出信号Ｓｄとして、複数の弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。

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前記ハンドリングユニットの前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、

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引清•梁章鉅 《归田琐记·张孟词贡士》：“阮芸臺 师哭 孟词 云：‘ 张孟词 志趣高洁，风仪

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本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。

また、ハンドリングユニット１０は、コネクタ１９を介して排気装置１０４に接続される。排気装置１０４は、排気経路１０５に沿って設置された圧力調整器Ｐ２及び開閉弁Ｖ２を経て、ハンドリングユニット１０の内部（軸孔１１ｘ及び通気口１２ｑ）を吸引し、排気する。なお、排気装置１０４の代わりに、上記と同様の流体供給源を接続してもよく、また、排気装置と流体供給源とを切替可能に接続するようにしてもよい。

この発明によれば、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することができる。また、ハンドリング装置において、コレットの把持特性に適した良好な作動状態を実現できる。

特開平１１－２８１６４９号公報 実用新案登録第２６０５０３８号公報 漾逸峰 特許文献１に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

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